Microcircuit engineering 86 - ME : proceedings of the International Conference on Microlithography, September 23-25, 1986, Interlaken, Switzerland
- Författare
- Ch. Bleiker H. W. Lehman International Conference on Microlithography 1986) (Interlaken :
- (Edited by H.W. Lehman and Ch. Bleiker.)
- Genre
- Konferenser, Ej skönlitteratur, Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| North-Holland | 1986 | Nederländerna, Amsterdam | 605 sidor. diagr., ill. |